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利用外部压力触发进行脉冲气体输送的方法和设备技术
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文档序号:28053197
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一种用于流体的脉冲输送的流体控制系统以及关联方法,包括截止阀以及位于该截止阀上游的质量流量控制器(MFC)。该MFC包括:流道、对流道中的流体流量进行控制的控制阀、对流道中的流率进行测量的流量传感器,以及控制器,该控制器具有来自截止阀的指示...
该专利属于万机仪器公司所有,仅供学习研究参考,未经过万机仪器公司授权不得商用。
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