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系统，包括洁净室(50)、运输元件(10)和运输元件(10)的驱动元件(30)，运输元件(10)能够在洁净室(50)内移动，运输元件(10)的驱动元件(30)设置在洁净室(50)外，其中运输元件(10)不与驱动元件(30)连接，并且仅经由无...该专利属于鲍施+施特勒贝尔机械伊尔斯霍芬有限两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过鲍施+施特勒贝尔机械伊尔斯霍芬有限两合公司授权不得商用。