下载一种沟槽栅型IGBT结构的技术资料

文档序号:28049847

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本发明提供了一种沟槽栅型IGBT结构,所述IGBT结构包括:N型参杂发射区(11)、所述P型掺杂深结区(10)、多晶硅假栅极结构(7);所述多晶硅假栅极结构(7)与所述N型参杂发射区(11)相连,且所述多晶硅假栅极结构(7)的底部插入所述P...
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