下载传感器和应用该传感器的检测装置的技术资料

文档序号:28049704

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一种传感器,包括:超声波元件,其包括相对间隔且相互电性绝缘设置的第一电极、第二电极、设置在所述第二电极上的绝缘层,以及设置在所述第一电极和所述绝缘层之间的振膜,所述绝缘层和所述振膜围合形成一密封的空腔,且所述第一电极承载在所述振膜上,当所述...
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