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气体检测模块制造技术
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文档序号:28049512
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一种气体检测模块,通过基座的侧壁面形成进气凹面及出气凹面,并于基座表面形成进气槽区及出气槽区,将进气凹面与进气槽区相通,出气凹面与出气槽区相通,再以薄膜封盖进气槽区与出气槽区,得以实现利用侧面进气以及侧面出气的效果。气的效果。气的效果。
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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