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包括二维材料的晶体管及相关半导体装置、系统及方法制造方法及图纸
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下载包括二维材料的晶体管及相关半导体装置、系统及方法的技术资料
文档序号:28048930
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本发明公开一种晶体管,其包括材料上的沟道区域。所述沟道区域包括二维材料,其包括对置侧壁且定向为垂直于所述材料。栅极电介质位于所述二维材料上且栅极位于所述栅极电介质上。本发明公开包含至少一个晶体管的半导体装置及系统,以及形成半导体装置的方法。...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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