下载气体分离装置的技术资料

文档序号:28047307

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本文公开的是气体分离部分,用于在分离装置中从一种或多种其他气体中分离出第一气体,所述气体分离部分包括:基本上为平面的第一膜;基本上为平面的第二膜;第一基板,所述第一基板具有第一表面和第二表面,其中,所述第一基板的所述第二表面与所述第一基板的...
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