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生物体传感器制造技术
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下载生物体传感器的技术资料
文档序号:28047047
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本发明的课题在于提供灵敏度高、抗干扰性强的生物体传感器。本发明的一个方式的生物体传感器(1)具备:片状的压电元件(2);俯视时在压电元件(2)的周围隔开空隙(3)配设的间隔件(4);覆盖压电元件(2)以及间隔件(4)的表侧的覆盖部件(5);...
该专利属于雅马哈株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过雅马哈株式会社授权不得商用。
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