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本发明提供一种双环形环绕圆形振动膜结构的压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：由第一电极层、压电层、第二电极以及致动层构成振动膜层；振动膜层设有圆形振动膜、第一环形振动膜及第二环形振动膜；圆形振动膜位于振动膜层的中心位置，第一环形振动膜套设...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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