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垂直腔面发射激光器(VCSEL)可以包括衬底和衬底上的一组外延层。该组外延层可以包括第一反射镜和第二反射镜、第一反射镜和第二反射镜之间的有源区以及用于在VCSEL中提供光学和电约束的氧化层。氧化层可在第一反射镜附近。该组外延层可包括氧化物透...
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