下载一种相变存储器单元及其制备方法的技术资料

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一种相变存储器单元及其制备方法,其从下到上依次包括位于衬底上的底电极、相变单元、加热电极和顶电极;其中,相变单元为纵向连接设置于底电极上的柱体,其由内而外依次设置有柱形相变材料层、环形散热层和环形选择器件层;顶电极与加热电极和相变材料层依次...
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