下载平面栅超结MOSFET的技术资料

文档序号:28043437

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本发明公开了一种平面栅超结MOSFET,包括:包括多个形成在超结结构的顶部且呈并联结构的器件单元;器件单元包括:沟道区,由栅介质层和栅极导电材料层叠加而成的平面栅,形成于沟道区表面的源区;平面栅超结MOSFET的导通电阻包括串联的沟道电阻以...
该专利属于南通尚阳通集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通尚阳通集成电路有限公司授权不得商用。

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