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一种图像传感器的形成方法技术
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文档序号:28043331
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一种图像传感器的形成方法,包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上形成栅沟槽,在所述栅沟槽的底部和侧面形成溢出栅绝缘层,在所述溢出栅绝缘层上形成溢出栅电极,所述溢出栅绝缘层与所述溢出栅电极组成溢出栅极结构,所述溢出栅极结构具有第一侧表面和相...
该专利属于尤小月所有,仅供学习研究参考,未经过尤小月授权不得商用。
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