下载栅控间接飞行时间器件、主动光电探测组件和光电系统的技术资料

文档序号:28038752

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本实用新型涉及一种栅控间接飞行时间器件和主动光电探测组件、光电系统。栅控间接飞行时间器件包括:衬底;设置于衬底一侧的由化合物半导体材料构成的光吸收层;设置于光吸收层上的两个用于输出光电流信号的探测电极;设置于光吸收层上的栅极氧化层;设置于栅...
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