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本实用新型提供了一种高精度闪测仪,包括机架底座模块、电动高精度二维载物台模块、环状照明模块、Z轴视觉测量模块、同轴照明模块、用来测量工件厚度的高度测量模块、图像显示模块,其中,所述电动高精度二维载物台模固定在所述机架底座模块上,所述Z轴视觉...该专利属于深圳市中图仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市中图仪器股份有限公司授权不得商用。
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