下载一种微针阵列式脑机接口器件及其制备方法的技术资料

文档序号:28033423

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本发明提供一种微针阵列式脑机接口器件及其制备方法,包括:采用非导电材料作为针间绝缘层,在针间绝缘层制备若干通孔;在导电材料层上制备若干金属焊盘;将导电材料层设置于针间绝缘层下方,并将导电材料层的上表面与针间绝缘层的下表面连接;将导电材料层加...
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