温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种用于光学相控阵的波导光栅天线阵列及其制备方法，包括：衬底；位于衬底上的波导光栅天线阵列，每条波导光栅天线包括基体波导和若干个光栅齿；覆盖层，覆盖于波导光栅天线阵列及衬底上，且位于波导光栅天线阵列上的覆盖层呈空间曲面形状，覆盖层...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。