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本发明公开的一种低损耗光纤压力传感器及其制作方法，涉及一种采用MEMS加工具有低损耗光路的光纤压力传感器及其制作方法，属于光纤压力传感器技术领域。低损耗光纤压力传感器是基于膜片结构的光纤EFPI式压力传感器，包括压力敏感结构、圆柱形中空管和...该专利属于中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所授权不得商用。