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本发明提供一种多通道荧光光纤温度变送器及测温方法，解决现有对等离子体刻蚀机静电吸盘的测温方式，存在测量误差大、精度低的问题。方法包括步骤：1)M个光源发生器进行第1次发光激发；2)关闭M个光源发生器，M个测温单元光传感器进行第i次激发光的信...
该专利属于西安和其光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安和其光电科技股份有限公司授权不得商用。

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