下载一种用于铸锭类超高纯涂层石英坩埚及其制备方法的技术资料

文档序号:28022666

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本发明提供了一种用于铸锭类超高纯涂层石英坩埚的制备方法,包括:A)将第一粒度的超高纯熔融石英砂、去离子水混合,球磨,得到浆料;所述第一粒度的超高纯熔融石英砂的粒度为0.1mm~0.6mm;B)将所述浆料、第二粒度的超高纯石英砂和硅溶胶混合,...
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