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本发明公开了一种可调节半导体单晶硅熔液对流的热场及单晶炉，该热场中的保温筒内设有不同材质的填充块，达到改变硅熔液下部温度的目的，实现控制硅熔体热对流的效果。以降低硅熔体受热对流的影响，以提高晶体长晶的质量均匀性和稳定性。...
该专利属于南京晶能半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京晶能半导体科技有限公司授权不得商用。

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