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本申请提供的一种基于等离子体增强原子层沉积技术制备纳米金颗粒薄膜的方法采用等离子增强原子层沉积技术，利用载气将金属有机化合物前驱体脉冲入反应室，并在衬底表面发生化学自饱和吸附及发生交换反应，叉采用惰性气体对过量的前驱体及副产物进行吹扫清洗，...
该专利属于无锡市邑晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市邑晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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