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提供了薄膜沉积设备、相关的系统和方法。薄膜沉积设备(200)包括反应室(201)和流体分配装置(100)，反应室用于容纳基板(10)，基板以其侧面彼此相邻的方式进行布置，流体分配装置具有扩展区域(101)和过渡区域(102)，一种或更多种前...
该专利属于皮考逊公司所有，仅供学习研究参考，未经过皮考逊公司授权不得商用。

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