下载一种高效气体分布器的技术资料

文档序号:28008085

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本实用新型公开了一种高效气体分布器,包括底部支撑板,所述底部支撑板的顶部固定连接有气体分布器本体,所述气体分布器本体的下侧面开设有内部直通孔,所述内部直通孔的侧面开设有侧面环槽,所述内部直通孔的底端贯穿出底部支撑板并于底部支撑板固定连接有气...
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