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本发明属于薄膜热电器件相关技术领域，其公开了一种具有新型热电臂结构的热薄膜器件及其制备方法，所述方法包括以下步骤：(1)制作多个镂空的掩膜；(2)采用掩膜在衬底上沉积制备底部电极，并在所述底部电极的间隙处沉积绝缘层；(3)采用掩膜在所述底部...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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