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一种基于AlGaN的具有不同铝组分的超晶格量子垒的深紫外LED制造技术
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下载一种基于AlGaN的具有不同铝组分的超晶格量子垒的深紫外LED的技术资料
文档序号:27980695
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本发明具体涉及一种基于AlGaN的具有不同铝组分的超晶格量子垒的深紫外LED。该LED从下至上依次包括蓝宝石沉底,N型层、具有不同铝组分的超晶格量子垒有源区、电子阻挡层、P型层及接触层,还包括从N型层引出的n型欧姆电极以及从接触层引出的p型...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。
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