下载一种横向导通型GaN混合pn肖特基功率二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:27980643

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本发明公开了一种横向导通型GaN混合pn肖特基功率二极管及其制备方法,所述二极管包括自下往上依次设置的衬底层、应力缓冲层、GaN外延层和p‑GaN掩埋层,其中,GaN外延层上表面未被p‑GaN掩埋层覆盖的部分设置有GaN沟道层,并且GaN沟...
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