下载薄膜金属层的刻蚀方法及薄膜金属层的刻蚀结构的技术资料

文档序号:27980411

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本发明适用于陶瓷电路板薄膜金属层刻蚀技术领域,提供了一种薄膜金属层的刻蚀方法及薄膜金属层的刻蚀结构,该方法包括:通过在陶瓷基板的上下表面沉积金属种子层;在所述金属种子层上表面的预留线路图形的位置制备金属图形,且任意相邻的第一金属图形与第二金...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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