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本实用新型公开了一种半导体生产用运输装置，包括底座，所述集装箱的内腔底部设有水箱，所述水箱的内腔左侧螺丝连接有水泵，所述集装箱的内腔左侧壁顶部设有高压喷头，所述水箱的内腔右侧设有竹炭过滤网，所述竹炭过滤网的左侧设有椰丝过滤网，所述椰丝过滤网...
该专利属于耐而达精密工程(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过耐而达精密工程(苏州)有限公司授权不得商用。

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