下载一种非制冷红外器件及其制作方法的技术资料

文档序号:27972241

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本发明涉及红外探测技术领域,具体公开了一种非制冷红外器件,包括:敏感区、悬臂梁、框架、有源器件和金属引线,其中,所述敏感区通过所述悬臂梁与所述框架机械连接,并悬空;所述有源器件位于所述框架上,并通过所述悬臂梁与所述敏感区电学连接;所述金属引...
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