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本实用新型公开了一种便于更换工件的单面研磨装置,包括研磨机主体、支撑脚、爪板、升降装置、电机和磨盘装置,通过设置了磨盘装置,在磨盘顶端圆心处设置了连接机构和驱动杆,驱动杆与电机底端的输出轴进行连接,且在连接机构内部设置了固定机构,在使用时,...该专利属于上海致领半导体科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海致领半导体科技发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种便于更换工件的单面研磨装置,包括研磨机主体、支撑脚、爪板、升降装置、电机和磨盘装置,通过设置了磨盘装置,在磨盘顶端圆心处设置了连接机构和驱动杆,驱动杆与电机底端的输出轴进行连接,且在连接机构内部设置了固定机构,在使用时,...