下载一种CIGS共蒸法的蒸发源加热结构的技术资料

文档序号:27966921

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本发明涉及一种CIGS共蒸法的蒸发源加热结构,解决CIGS共蒸法的蒸发源蒸发温度高,蒸发源的加热温控难度大,蒸发源的蒸汽温度可能存在波动和偏差的问题。本装置包括蒸发源容器,其特征在于:蒸发源容器的上表面嵌设有石墨导热板,石墨导热板中部嵌设有...
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