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本发明的用于双极板表面碳材料扩散及复合沉积的连续型设备及应用方法，从左至右依次包括：清洗室、等离子渗碳室、离子轰击室、涂层沉积室和出片过渡室；等离子渗碳室的进口阀门和出口阀门对角设置，内设两条平行的进口传动装置和出口传动装置；3条同步横向传...
该专利属于上海治臻新能源装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海治臻新能源装备有限公司授权不得商用。

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