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本发明公开一种真空吸附式环形末端夹持器，包括：法兰和吸盘；法兰，用于安装外部结构；吸盘包括第一吸盘和第二吸盘,第一吸盘和第二吸盘相对设置呈环形结构,并分别与法兰的两端连接呈一体结构。通过实施本发明的技术方案，环形吸盘通过三个触盘与晶圆片的边...
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