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本实用新型涉及一种基板烘烤设备，包含：箱体，具有烘烤通道；烘烤装置，烘烤装置自箱体外对于烘烤通道进气并进行加热；以及载送装置，包括多数个链轮、链条以及吊架，吊架用以夹持基板，链条抵于多数个链轮并且随着链轮的旋转而移动吊架，其中，至少一个链轮...
该专利属于群翊工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过群翊工业股份有限公司授权不得商用。

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