下载电容器及其制作方法的技术资料

文档序号:27947754

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本申请实施例提供一种电容器及其制作方法,电容器包括:半导体衬底;叠层结构,包括n层导电层和m层电介质层,第i层导电层中设置有至少一个第i隔离沟槽,第i+1层导电层设置于第i层导电层的上方和至少一个第i隔离沟槽内,奇数层导电层中的隔离沟槽在竖...
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