下载一种用于曝光设备的光源组件的技术资料

文档序号:27941484

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提出一种用于曝光设备的光源组件,包括罩覆组件、转接组件、发光组件及导光组件,罩覆组件位于曝光平台上方,由罩覆组件对置于曝光平台上的底版进行遮盖,转接组件安装于罩覆组件中,发光组件安装于转接组件中,由发光组件对置于曝光平台上的底版进...
该专利属于嘉兴美瑞珂激光科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴美瑞珂激光科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。