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本发明提供了一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，涉及氮化镓晶圆衬底缺陷测评技术领域，包括机架和设置在机架上的电气控制组件、腐蚀槽以及第一机械臂，所述第一机械臂与电气控制组件电性连接，所述腐蚀槽中盛放有强碱，氮化镓晶圆放置在卡模上，所述卡模挂在第一机械...
该专利属于国镓芯科(深圳)半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国镓芯科(深圳)半导体科技有限公司授权不得商用。

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