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本发明涉及集成电路装备制造技术领域，公开一种六自由度微动装置及电子束装备。微动装置包括硅片承载台、运动组件、固定组件和驱动组件，运动组件包括运动板和上磁屏蔽结构；固定组件包括连接板和下磁屏蔽结构，下磁屏蔽结构与上磁屏蔽结构配合形成磁屏蔽空间...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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