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一种基于多点阵产生和独立控制的双光子并行直写装置及方法制造方法及图纸
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下载一种基于多点阵产生和独立控制的双光子并行直写装置及方法的技术资料
文档序号:27933346
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本发明公开一种基于多点阵产生和独立控制的双光子并行直写装置及方法,主要包含三个核心元件:数字微镜阵列DMD、空间光调制器SLM和微透镜阵列MLA,DMD将有效像素区域等分成N×N个单元,一个单元对应一个光斑,对DMD每个单元包含的m×m个微...
该专利属于之江实验室;浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室;浙江大学授权不得商用。
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