下载一种曝光设备的曝光控制系统及方法的技术资料

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本发明揭示了一种曝光设备的曝光控制系统及方法,系统包括发排卡、数据处理板、激光器驱动与控制板和运动控制板,数据处理板包括FPGA控制器及嵌入于FPGA控制器内的嵌入式处理器,发排卡接收上位机发送的数据信息及指令信息,嵌入式处理器对数据信息及...
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