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本发明提供一种三坐标测量机Z轴平衡保护系统,包括控制器、气源、平衡气缸、气浮块、主供气管路、第一供气支路和第二供气支路,第一供气支路上设置有精密调压阀和第一压力检测元件,第二供气支路上设置有减压阀、第二压力检测元件和电磁阀,仅当第一压力检测...该专利属于天津大学;海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学;海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司授权不得商用。