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本申请公开了一种检测方法、检测系统及非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括：获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息，工件放置在承载装置上；根据高度分布信息获取驱动件的响应曲线，驱动件用于驱动承载装置沿高度方向运动；响应曲线上，延伸方向发...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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