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本发明公开了一种高低速兼容直线位移增量精密测量方法。本发明相较传统光栅，显著降低其制造工艺复杂度、加工时间和成本；本发明相较传统光栅，工况速度区间更宽，即能够正常工作于更高/更低速的工况条件下；本发明将传统的细密光栅，转为宏观的大间隔光栅条...
该专利属于四川云盾光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川云盾光电科技有限公司授权不得商用。

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