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一种手术刀用金刚石薄膜及其制备方法技术
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文档序号:27926201
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一种手术刀用金刚石薄膜及其制备方法,采用热丝化学气相沉积工艺在手术刀具衬底表面制备金刚石薄膜,在CVD沉积过程中通入氢气可以刻蚀并抑制石墨相的生成,然后将金刚石薄膜置于氢气气氛下进行退火处理,并深入探究了氢气流量和基体温度对金刚石薄膜中石墨...
该专利属于中南大学湘雅医院所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学湘雅医院授权不得商用。
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