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本申请涉及一种高致密导电氧化铌靶材的制备方法,涉及材料加工技术的领域,其包括以下步骤:S1、选择氧化铌粉料和金属铌粉料作为原料按照配比放入V型混料机中混料,S2、混料完成后经高能球磨机进行球磨,S3、球磨好的粉料装模,S4、热压处理制得靶材...该专利属于山东昊轩电子陶瓷材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东昊轩电子陶瓷材料有限公司授权不得商用。
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