下载一种用于硅片清洗的刻蚀风刀结构的技术资料

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本实用新型涉及光伏技术领域,且公开了一种用于硅片清洗的刻蚀风刀结构,包括安装架,所述安装架内腔的底部横向安装有隔板,所述隔板顶端的中部安装有超声波发生器,所述安装架顶端的中部安装有风机,所述风机的输出端穿过安装架安装有导气架,所述导气架的底...
该专利属于环晟光伏(江苏)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过环晟光伏(江苏)有限公司授权不得商用。

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