下载一种新型高速高精度小型Z轴定位装置的技术资料

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本实用新型公开一种新型高速高精度小型Z轴定位装置,包括:底座、设于底座上的直线电机、穿过直线电机的轴、与轴的一端连接的旋转限位装置以及光栅传感器,旋转限位装置包括:设于直线电机旁侧的滑板转接板、设于滑板转接板上的直线导轨、设于直线导轨上的导...
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