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移动体位置控制装置（６０）具有坐标变换块（７０）、用来反馈控制Ｙ１线性马达（２０Ａ）的并进方向控制系统（８０）、用来反馈控制Ｙ２线性马达（２０Ｂ）的偏转方向控制系统（９０）、和推力非干涉化块（１００）。即使对并进方向控制系统（８０）、偏转方...
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