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本实用新型公开了一种激光光路调整校验大行程三坐标测量机精度的工装结构,包括激光干涉仪、线性干涉镜、安装轴、固定柱、底板、螺钉和光路调整机构,激光干涉仪通过安装轴固定安装在底板上,所述线性干涉镜通过固定柱安装在底板上,所述光路调整机构通过螺钉...该专利属于思瑞测量技术(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过思瑞测量技术(深圳)有限公司授权不得商用。
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